□ PEDAL연구실

지도교수: 문세연

□ 주요 연구활동

• 대기압부터 진공 및 공정플라즈마를 중심으로 기본 특성 평가, 진단법의 개발 및 응용 연구 수행
• 2019년 현재 진행연구 과제는 연구재단 핵융합연구개발사업, P社 대기압 증착 개발 연구, 정부출연연구소 위탁과제, 연구재단 일반연구자 및 기타 플라즈마 이용 표면처리 연구 진행

홈페이지: https://top.jbnu.ac.kr/pedal/index.do

□ 주요보유장비

• RF ICP, RF CCP, 대기압 대면적 플라즈마원
• Langmuir probe, OES, VUV monochromator, Xe lamp, 4-ch Osilloscope, V-I probe 등
• 플라즈마 발생 및 진단장비 다수 보유